مزایای اهداف کندوپاش مگنترون استوانه ای و مسطح

مشاور فنی RSM مزایای اهداف کندوپاش مگنترون استوانه ای و مسطح را با شما در میان می گذارد؟در مقایسه با سایر اهداف کندوپاش مگنترون، اهداف کندوپاش استوانه ای و مسطح مگنترون مزایای یکنواختی پوشش خوب اهداف مستطیلی مستطیلی را حفظ می کنند و می توانند از دو طریق زیر استفاده از اهداف را به حداکثر برسانند:

(1) هنگامی که دو گروه (چهار) گودال حلقوی روی سطح هدف به عمق معینی رسیدند، هسته هدف (قسمت آهنربایی) را می توان 45 درجه نسبت به لوله هدف چرخاند، به طوری که سایر مناطق روی لوله هدف می توان از آنها استفاده کرد که خورده نشده اند.

(2) هنگامی که هسته هدف هدف کندوپاش مگنترون استوانه ای و مسطح به عنوان یک هسته هدف دوار طراحی می شود (هسته هدف در حین کندوپاش در حال چرخش است)، سطح هدف را می توان به طور یکنواخت لایه به لایه بدون حفره پراکنده کرد.در این زمان، هدف به بهترین شکل مورد استفاده قرار خواهد گرفت، و نرخ استفاده از هدف می تواند به 50٪ تا 60٪ برسد، زمانی که ماده مورد نظر فلز گرانبها باشد، این بدیهی است که اهمیت زیادی دارد.

با استفاده از اصل آهنربا با کفشک قطبی در هدف کندوپاش مگنترون استوانه ای کواکسیال برای حل مشکل میدان مغناطیسی انتهایی، هدف صفحه مستطیلی را می توان به یک هدف کندوپاش مگنترون استوانه ای و مسطح تبدیل کرد، هدف می تواند میزان استفاده از هدف را به حداکثر برساند. ضمن حفظ یکنواختی پوشش خوب صفحه مستطیلی هدف به منظور بهبود منافع اقتصادی.