ویژگی های اهداف کندوپاش آلومینیومی با خلوص فوق العاده بالا

در سال های اخیر، با پیشرفت فناوری مدارهای مجتمع (IC)، کاربردهای مرتبط مدارهای مجتمع به سرعت توسعه یافته است.هدف کندوپاش آلیاژ آلومینیوم با خلوص فوق العاده بالا، به عنوان یک ماده پشتیبان در ساخت اتصالات فلزی مدار مجتمع، به موضوع داغ در تحقیقات اخیر داخلی تبدیل شده است.ویرایشگر RSM ویژگی های هدف کندوپاش آلیاژ آلومینیوم با خلوص بالا را به ما نشان می دهد.

به منظور بهبود بیشتر راندمان کندوپاش هدف کندوپاش مگنترون و اطمینان از کیفیت فیلم‌های رسوب‌شده، تعداد زیادی آزمایش نشان می‌دهد که الزامات خاصی برای ترکیب، ریزساختار و جهت‌گیری دانه‌های هدف کندوپاش آلیاژ آلومینیوم با خلوص فوق‌العاده وجود دارد.

اندازه دانه و جهت‌گیری دانه‌های هدف تأثیر زیادی بر آماده‌سازی و خواص فیلم‌های IC دارد.نتایج نشان می دهد که سرعت رسوب با افزایش اندازه دانه کاهش می یابد.برای هدف کندوپاش با ترکیب یکسان، سرعت کندوپاش هدف با اندازه دانه کوچک سریعتر از هدف با اندازه دانه بزرگ است.هر چه اندازه دانه هدف یکنواخت تر باشد، توزیع ضخامت لایه های رسوب شده یکنواخت تر است.

تحت همان ابزار کندوپاش و پارامترهای فرآیند، نرخ کندوپاش آلیاژ Al Cu با افزایش چگالی اتمی افزایش می‌یابد، اما به طور کلی در یک محدوده پایدار است.اثر اندازه دانه بر سرعت کندوپاش به دلیل تغییر چگالی اتمی با تغییر اندازه دانه است.نرخ رسوب عمدتاً تحت تأثیر جهت گیری دانه هدف آلیاژ Al Cu است.بر اساس اطمینان از نسبت (200) صفحه کریستالی، افزایش نسبت صفحات کریستالی (111)، (220) و (311) نرخ رسوب را افزایش می دهد.

اندازه دانه و جهت گیری دانه های اهداف آلیاژ آلومینیوم با خلوص فوق العاده بالا عمدتاً با همگن سازی شمش، کار گرم و بازپخت مجدد تبلور تنظیم و کنترل می شود.با توسعه اندازه ویفر به 20.32 سانتی متر (8 اینچ) و 30.48 سانتی متر (12 اینچ)، اندازه هدف نیز در حال افزایش است، که الزامات بالاتری را برای اهداف کندوپاش آلیاژ آلومینیوم با خلوص فوق العاده بالا ایجاد می کند.به منظور اطمینان از کیفیت و عملکرد فیلم، پارامترهای پردازش هدف باید به شدت کنترل شوند تا ریزساختار هدف یکنواخت شود و جهت دانه باید دارای بافت صاف (200) و (220) باشد.