اهداف کندوپاش در چه زمینه هایی استفاده می شود

همه ما می دانیم که مشخصات زیادی برای هدف sputtering وجود دارد،که aw داردمحدوده کاربرد ایده.Tاو انواع هدف معمولا در صنایع مختلف استفاده می شود نیز متفاوت است، امروز بیایید با پکنریچمات با هم در مورد طبقه بندی صنعت هدف کندوپاش یاد بگیرند. 

、تعریف مواد هدف sputtering

　کندوپاش یکی از فناوری های اصلی برای تهیه مواد لایه نازک است.از یون‌های تولید شده توسط منبع یونی برای تشکیل پرتو یونی با انرژی با سرعت بالا از طریق تجمع سریع در خلاء استفاده می‌کند. سطح جامد بمباران شده، یون‌ها و اتم‌های سطح جامد دارای تبادل انرژی جنبشی هستند، به طوری که اتم‌های روی سطح جامد جامد را ترک می‌کنند و رسوب می‌کنند. در سطح زیرلایه، جامد بمباران شده ماده خام برای تهیه فیلم رسوب شده در حال کندوپاش است که به عنوان هدف کندوپاش شناخته می شود.

من،طبقه بندی میدانی کاربردی مواد هدف کندوپاش

　　1،هدف نیمه هادی

(1)مواد متداول استفاده می شود:اهداف متداول در این زمینه عبارتند از تانتالیم، مس، تیتانیوم، آلومینیوم، طلا، نیکل و سایر فلزات با نقطه ذوب بالا.

　　(2)استفاده：اساساً در داده های اصلی اصلی مدار مجتمع استفاده می شود

　　(3)الزامات عملکردی：الزامات فنی در خلوص، اندازه، ادغام بالا است.

　　2،مواد مورد نظر برای نمایش مسطح

　　(1)مواد متداول استفاده می شود：اهدافی که معمولاً در این زمینه مورد استفاده قرار می گیرند عبارتند از آلومینیوم / مس / مولیبدن / نیکل / نیوبیم / سیلیکون / کروم و غیره.

　　(2)استفاده：این نوع مواد هدف عمدتاً در انواع فیلم های بزرگ تلویزیون و نوت بوک استفاده می شود.

　　(3)الزامات عملکردی：الزامات بالا در خلوص، مساحت بزرگ، یکنواختی و غیره.

　　3،اهداف سلول های خورشیدی

(1)مواد متداول استفاده می شود：اهداف آلومینیوم / مس / مولیبدن / کروم / ITO / Ta معمولا در سلول های خورشیدی استفاده می شود.

　　(2)استفاده：عمدتا در "لایه پنجره"، لایه مانع، الکترود و فیلم رسانا و موارد دیگر استفاده می شود.

　　(3)الزامات عملکردی：نیاز به مهارت بالا، طیف گسترده ای از استفاده.

　　4،مواد مورد نظر برای ذخیره سازی اطلاعات

　　(1)مواد متداول استفاده می شود：ذخیره سازی اطلاعات معمولاً از مواد هدف کبالت / نیکل / فروآلیاژ / کروم / تلوریم / سلنیوم استفاده می شود.

　　(2)استفاده：متریال هدف در اینجا عمدتاً برای هد، لایه میانی و لایه پایین سی دی رام و سی دی استفاده می شود.

　 (3) الزامات عملکردی：تراکم ذخیره سازی بالا و سرعت انتقال بالا مورد نیاز است.

　　5،مواد مورد نظر برای اصلاح ابزار

(1)مواد متداول استفاده می شود：اصلاح ابزار تیتانیوم / زیرکونیوم / شبکه / آلیاژ کروم - آلومینیوم و سایر اهداف.

　　(2)استفاده:معمولاً برای بهبود ظاهر استفاده می شود.

　　(3)الزامات عملکردی：الزامات عملکردی بالا، عمر طولانی.

　　6،مواد هدف برای دستگاه های الکترونیکی

　 (1)مواد متداول استفاده می شود:اهداف آلیاژ آلومینیوم / سیلیسید معمولا در دستگاه های الکترونیکی استفاده می شود

　　(2)استفاده：به طور کلی برای مقاومت فیلم و خازن استفاده می شود.

　　(3)الزامات عملکردی：اندازه کوچک، پایداری، ضریب دمای مقاومت پایین